微细加工技术杂志简介
- 主管单位：信息产业部
- 出版周期：双月刊
- 出版语言：中文
- 主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
- 国际刊号：1003-8213
- 类别：电子
- 创刊时间：1983
- 国内刊号：43-1140/TN
- 出版地区：湖南
- 曾用名：微细加工技术
- 邮编：410111
《微细加工技术》是一本由中国电子科技集团公司第48研究所主办的电子学术刊物，该杂志为双月刊，面向国、内外公开发行。主要报道电子相关领域的研究成果与实践，该杂志的创办有利于国内外同行探讨有创新的学术观点，加强国内外同行学术交流。本刊将及时推出该领域的新理论、新技术、新成果，使国内外同行能及时、方便地查阅、引用，为电子研究事业的发展作贡献。
《微细加工技术》杂志一级发文领域主要有：电子电信、自动化与计算机技术、理学、一般工业技术、机械工程、电气工程、金属学及工艺、化学工程、动力工程及工程热物理、核科学技术。二级发文领域主要有：电子电信 / 物理电子学、电子电信 / 微电子学与固体电子学、自动化与计算机技术 / 控制科学与工程、自动化与计算机技术 / 检测技术与自动化装置、理学 / 物理、一般工业技术 / 材料科学与工程、理学 / 固体物理、金属学及工艺 / 金属学、机械工程 / 光学工程、电子电信 / 信息与通信工程。该杂志与时俱进，开拓进取，保持优势，敢于争先，开设了综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等栏目，反映电子领域科研成果和电子实践经验，为电子工作者和研究人员提供业务交流和学术成果的发布平台。
微细加工技术期刊荣誉
微细加工技术历史收录
- Scopus数据库（2021）
学术热点分析
主要资助项目分析
| 序号 | 资助项目 | 文献量 |
| 1 | 国家自然科学基金 | 256 |
| 2 | 国家高技术研究发展计划 | 65 |
| 3 | 国家重点基础研究发展计划 | 54 |
| 4 | 国家教育部博士点基金 | 17 |
| 5 | 国家重点实验室开放基金 | 15 |
| 6 | 山东省自然科学基金 | 13 |
| 7 | 中国科学院知识创新工程 | 11 |
| 8 | 中国博士后科学基金 | 10 |
主要资助课题分析
| 序号 | 资助课题 | 文献量 |
| 1 | 国家自然科学基金(90307003) | 13 |
| 2 | 山东省自然科学基金(Y2003G03) | 12 |
| 3 | 国家重点基础研究发展计划(2003CB716204) | 7 |
| 4 | 国家自然科学基金(59671051) | 7 |
| 5 | 山东省科技攻关计划(022090105) | 7 |
| 6 | 国家高技术研究发展计划(2004AA404260) | 5 |
| 7 | 国家高技术研究发展计划(2003AA404150) | 4 |
| 8 | 国家自然科学基金(10572078) | 4 |
主要发文机构分析
| 序号 | 机构名称 | 发文量 |
| 1 | 中国科学院 | 192 |
| 2 | 上海交通大学 | 129 |
| 3 | 清华大学 | 60 |
| 4 | 中国科学技术大学 | 47 |
| 5 | 电子工业部 | 46 |
| 6 | 中国科学院微电子研究所 | 38 |
| 7 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 34 |
| 8 | 山东大学 | 29 |
相关发文主题分析
| 序号 | 相关发文主题 |
| 1 | 光刻；电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；掩模 |
| 2 | 微机电系统；电系统；机电系统；MEMS；刻蚀 |
| 3 | 微细；光刻；微细加工；离子束；聚焦离子束 |
| 4 | 刻蚀；离子束；离子束刻蚀；光刻；衍射 |
| 5 | 离子注入；注入机；离子注入机；半导体；电路 |
| 6 | 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝光；分辨率 |
| 7 | 光栅；MEMS；刻蚀；光刻；传感 |
| 8 | 电子束；电子束曝光；曝光机；电子束光刻；电子束曝光机 |
微细加工技术期刊文献
- 电子束光刻的快速邻近效应校正 作者：宋会英; 张玉林; 于肇贤; 郝慧娟；中国石油大学(华东)计算机与通信工程学院; 山东东营; 257061; 山东大学; 控制学院; 电子束研究所; 济南; 250061; 北京信息科技大学; 理学院; 北京; 100101; 山东大学; 控制学院; 电子束研究所; 济南; 250061；
- 基于遗传算法的显影速率参数确定 作者：郝慧娟; 张玉林; 魏强; 卢文娟；山东大学; 控制学院; 电子束研究所; 济南; 250061; 山东大学; 控制学院; 电子束研究所; 济南; 250061; 山东大学; 控制学院; 电子束研究所; 济南; 250061; 山东大学; 控制学院; 电子束研究所; 济南; 250061；
- GCA3600F图形发生器数据处理技术的改进与应用 作者：叶红; 陈宝钦；中国电子科技集团公司第55研究所; 南京; 210016; 中国科学院微电子研究所; 北京; 100029；
- 浸没式ArF曝光过程中液体热性能分析 作者：樊明哲; 李艳秋；中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080；
- 掩模移动曝光系统精密定位工件台研制 作者：佟军民; 胡松; 余国彬；中国科学院光电技术研究所; 成都; 610209; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 河南许昌职业技术学院; 许昌; 461000; 中国科学院光电技术研究所; 成都; 610209; 中国科学院光电技术研究所; 成都; 610209；
- 采用激光制备毛细管电泳芯片微结构的研究 作者：刘莹; 姚李英; 刘世炳; 吴坚; 陈涛；北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022；
- 利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法 作者：张立超; 金春水；中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 长春; 130033; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 长春; 130033；
- 聚酰亚胺薄膜表面微纳米尺度下电荷特性的研究 作者：赵慧斌; 任权; 韩立；中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院研究生院; 北京; 100049; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080；
